Zuschlag

Publikationsdatum Simap: 07.03.2020

1. Auftraggeber

1.1 Offizieller Name und Adresse des Auftraggebers

Bedarfsstelle/Vergabestelle: Paul Scherrer Institut
Beschaffungsstelle/Organisator: Paul Scherrer Institut,  zu Hdn. von Benjamin Künzler, Forschungsstrasse 111,  5232  Villigen PSI,  Schweiz,  Fax:  +41 56 310 29 14,  E-Mail:  benjamin.kuenzler@psi.ch,  URL www.psi.ch

1.2 Art des Auftraggebers

Dezentrale Bundesverwaltung – öffentlich rechtliche Organisationen und andere Träger von Bundesaufgaben

1.3 Verfahrensart

Freihändiges Verfahren

1.4 Auftragsart

Lieferauftrag

1.5 Staatsvertragsbereich

Ja

2. Beschaffungsobjekt

2.1 Projekttitel der Beschaffung

Reaktives Silizium-Ionentiefenätzsystem (DRIE)

2.2 Gemeinschaftsvokabular

CPV:	38000000 - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

3. Zuschlagsentscheid

3.1 Zuschlagskriterien

entfällt

3.2 Berücksichtigte Anbieter

Name: SPTS Technologies Ltd, Ringland Way,  NP18 2TA  Newport,  Grossbritannien
Preis (Gesamtpreis):  Ohne Angabe gemäss Art. 23 Abs. 3 Lit. b BöB

3.3 Begründung des Zuschlagsentscheides

Begründung: Entscheid nach Art. 13 Abs.1 Bst. c VöB

System zum tiefen reaktiven Ionenätzen von Silizium mit folgenden Merkmalen:
- austauschbares elektrostatisches Spannsystem für drei Wafergrößen (100, 150, 200 mm),
- Zuverlässige Endpunkterkennung bei sehr geringer offener Fläche (<2%),
- Option für stetige Parametererhöhung,
- gepulste Tieffrequenz Bias-Option für kerbfreie Silicon On Insulator Wafer Verarbeitung,
- Kontrolle der Plasmaform, ohne dass Änderungen an der Hardware vorgenommen müssen

4. Andere Informationen

4.2 Datum des Zuschlags

Datum: 06.03.2020

4.5 Rechtsmittelbelehrung

Gegen diese Publikation kann gemäss Art. 30 BöB innert 20 Tagen seit Eröffnung schriftlich Beschwerde beim Bundesverwaltungsgericht, Postfach, 9023 St. Gallen, erhoben werden. Die Beschwerde ist im Doppel einzureichen und hat die Begehren, deren Begründung mit Angabe der Beweismittel sowie die Unterschrift der beschwerdeführenden Person oder ihrer Vertretung zu enthalten. Eine Kopie der vorliegenden Publikation und vorhandene Beweismittel sind beizulegen.