Zuschlag

Publikationsdatum Simap: 20.05.2022

1. Auftraggeber

1.1 Offizieller Name und Adresse des Auftraggebers

Bedarfsstelle/Vergabestelle: Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL)
Beschaffungsstelle/Organisator: Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL)
Center for MicroNanoTechnology (CMI),  zu Hdn. von Dr. Philippe Flückiger, Bâtiment BM 1.128 – Station 17,  1015  Lausanne,  Schweiz,  E-Mail:  philippe.fluckiger@epfl.ch

1.2 Art des Auftraggebers

Dezentrale Bundesverwaltung – öffentlich rechtliche Organisationen und andere Träger von Bundesaufgaben

1.3 Verfahrensart

Offenes Verfahren

1.4 Auftragsart

Lieferauftrag

1.5 Staatsvertragsbereich

Ja

2. Beschaffungsobjekt

2.1 Projekttitel der Beschaffung

Gerät zum Ätzen von Schichten aus metallischen Verbindungen (RIE)

Gegenstand und Umfang des Auftrags:  Die EPFL beabsichtigt, für ihr Center of MicroNanoTechnology (CMi) ein Werkzeug zum Reactive Ion Etching - Inductively Coupled Plasma system (RIE-ICP) zu erwerben. Die Anlage wird der Spitzenforschung in der Mikro- und Nanofabrikation gewidmet sein.
Das CMi ist eine nutzerbasierte Mikro-/Nanofabrikationsanlage, die allen Fakultäten der EPFL einen zentralen Reinraumzugang bietet und auch der lokalen Industrie offen steht (>500 aktive Nutzer pro Jahr).
Diese Ausrüstung wird den neuesten Forschungsbedürfnissen in der Mikro- und Nanofertigung und insbesondere dem Ätzen von Schichten aus metallischen Verbindungen (Al, AlN, AlScN, Al2O3, Ti, TiN, Mo, Pt, Ta, W) gewidmet sein. In besonderen Fällen werden auch Extraschichten wie Si, SiO2, SiN und Polyimid verarbeitet.

2.2 Gemeinschaftsvokabular

CPV:	38000000 - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

3. Zuschlagsentscheid

3.1 Zuschlagskriterien

Gemäss Ausschreibung

3.2 Berücksichtigte Anbieter

Name: Oxford Instruments GmbH, Borsigstraße 15a,  65205  Wiesbaden,  Deutschland
Preis (Gesamtpreis):  Ohne Angabe gemäss Art. 51 Abs. 4 Lit. b BöB und lVöB 2019

3.3 Begründung des Zuschlagsentscheides

Begründung: Das gewählte Material entspricht zum jetzigen und voraussehbaren Zeitpunkt am ehesten unseren finanziellen
Mitteln und Bedürfnissen (Sicherung der Investitionen) unter Berücksichtigung der schnellen Entwicklung der Anforderungen in
der Forschung.

4. Andere Informationen

4.1 Ausschreibung

Publikation vom: 10.12.2021
im Publikationsorgan: www.simap.ch
Meldungsnummer 1234093

4.2 Datum des Zuschlags

Datum: 19.05.2022

4.3 Anzahl eingegangene Angebote

Anzahl Angebote: 3

4.5 Rechtsmittelbelehrung

Gegen diese Verfügung kann gemäss Art. 56 Abs. 1 des Bundesgesetzes über das öffentliche Beschaffungswesen (BöB) innert 20 Tagen seit Eröffnung schriftlich Beschwerde beim Bundesverwaltungsgericht, Postfach, 9023 St. Gallen, erhoben werden. Die Beschwerde ist im Doppel einzureichen und hat die Begehren, deren Begründung mit Angabe der Beweismittel sowie die Unterschrift der beschwerdeführenden Person oder ihrer Vertretung zu enthalten. Eine Kopie der vorliegenden Verfügung und vorhandene Beweismittel sind beizulegen.
Die Bestimmungen des Verwaltungsverfahrensgesetzes (VwVG) über den Fristenstillstand finden gemäss Art. 56 Abs. 2 BöB keine Anwendung.