Adjudication

Date de publication Simap: 07.12.2022

1. Pouvoir adjudicateur

1.1 Nom officiel et adresse du pouvoir adjudicateur

Service demandeur/Entité adjudicatrice: Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL)
Service organisateur/Entité organisatrice: Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL)
Center of MicroNanoTechnology (CMi),  à l'attention de Dr Philippe Flückiger, Bâtiment BM - Station 17,  1015  Lausanne,  Suisse,  E-mail:  philippe.fluckiger@epfl.ch

1.2 Genre de pouvoir adjudicateur

Administration fédérale décentralisée – organisations de droit public de la Confédération et autres collectivités assumant des tâches fédérales

1.3 Mode de procédure choisi

Procédure ouverte

1.4 Genre de marché

Marché de fournitures

1.5 Marchés soumis aux accords internationaux

Oui

2. Objet du marché

2.1 Titre du projet du marché

Equipement de gravure ICP dédié aux diélectriques

Objet et étendue du marché :  L’EPFL a l’intention d’acquérir un équipement de gravure ICP dédié aux diélectriques pour son Centre de MicroNanoTechnologie (CMi).
Cet équipement sera dédié à la recherche de pointe dans les domaines de la micro et nano-fabrication.
Le CMi est une installation de salles blanches dédiée à la micro/nano fabrication, centrale pour l’ensemble des facultés de l’EPFL, ainsi que pour les industriels locaux (>500 utilisateurs actifs par an).
Au vu des besoins de l’EPFL et des buts du CMi, une attention particulière sera placée sur les points suivants :
•Gravure des matériaux diélectriques SiO2 et Si3N4
•Profils de gravure, flancs lisses et sélectivité par rapport aux matériaux de masquage (voir les processus DEMO)
•Vitesse de gravure, uniformité radiale et reproductibilité
•Facilité d'utilisation et fiabilité
•Compatibilité avec l’existant du CMi
•Gestion de la contamination

2.2 Vocabulaire commun des marchés publics

CPV:	38000000 - Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes)

3. Décision d'adjudication

3.1 Critères d'adjudication

Selon l'appel d'offres

3.2 Adjudicataire

Nom: KLA Corporation, 1 Technology Drive, California,  74540  Mures,  France
Prix (prix total) :  Non spécifié conformément à l'art. 51, al. 4, let. b LMP et AIMP

3.3 Raisons de la décision d'adjudication

Raisons: L'équipement choisi présente la meilleure adéquation à nos besoins actuels et prévisibles (protection de l'investissement), compte tenu de l'évolution rapide des exigences liées à la recherche.

4. Autres informations

4.1 Appel d'offres

Publication du: 16.09.2022
Organe de publication: www.simap.ch
Numéro de la publication 1286723

4.2 Date de l'adjudication

Date: 02.12.2022

4.3 Nombre d'offres déposées

Nombre d'offres: 2

4.5 Indication des voies de recours

Conformément à l'art. 56, al. 1, de la loi fédérale sur les marchés publics (LMP), la présente décision peut être attaquée, dans un délai de 20 jours à compter de sa notification, auprès du Tribunal administratif fédéral, case postale, 9023 Saint-Gall. Présenté en deux exemplaires, le mémoire de recours doit indiquer les conclusions, les motifs et les moyens de preuve et porter la signature de la partie recourante ou de son représentant ; y seront jointes une copie de la présente décision et les pièces invoquées comme moyens de preuve, lorsqu'elles sont disponibles.
Conformément à l'art. 56, al. 2, LMP, les dispositions de la Loi fédérale sur la procédure administrative (PA) relatives à la suspension des délais ne s'appliquent pas.