Zuschlag

Publikationsdatum Simap: 07.12.2022

1. Auftraggeber

1.1 Offizieller Name und Adresse des Auftraggebers

Bedarfsstelle/Vergabestelle: Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL)
Beschaffungsstelle/Organisator: Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL)
Center of MicroNanoTechnology (CMi),  zu Hdn. von Dr Philippe Flückiger, Bâtiment BM - Station 17,  1015  Lausanne,  Schweiz,  E-Mail:  philippe.fluckiger@epfl.ch

1.2 Art des Auftraggebers

Dezentrale Bundesverwaltung – öffentlich rechtliche Organisationen und andere Träger von Bundesaufgaben

1.3 Verfahrensart

Offenes Verfahren

1.4 Auftragsart

Lieferauftrag

1.5 Staatsvertragsbereich

Ja

2. Beschaffungsobjekt

2.1 Projekttitel der Beschaffung

Induktiv gekoppelten Plasmaätzer für dielektrische Materialien

Gegenstand und Umfang des Auftrags:  Die Eidgenössische Technische Hochschule Lausanne beabsichtigt für das Zentrum für MicroNanotechnology (CMi) einen induktiv gekoppelten Plasmaätzer für dielektrische Materialien zu erwerben. Die Anlage ist für hochmoderne Forschung im Bereich der Micro- und Nanofabrikation bestimmt.
Das CMi ist eine Reinraumeinrichtung für die Mikro-/Nano-Fertigung, zentral für alle EPFL-Fakultäten sowie für lokale Hersteller (>500 aktive Benutzer pro Jahr).
Im Hinblick auf die Bedürfnisse der EPFL und die Ziele des CMi wird auf folgende Punkte besonderes Augenmerk gelegt:
•Ätzen von SiO2- und Si3N4-Dielektrika
•Ätzprofile, glatte Kanten und Selektivität gegenüber Abdeckmaterialien (siehe DEMO-Prozesse)
•Einheitlichkeit, radiale Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit der Ätzrate
•Benutzerfreundlichkeit und Zuverlässigkeit
•Kompatibilität mit vorhandenem CMi
•Kontaminationsmanagement

2.2 Gemeinschaftsvokabular

CPV:	38000000 - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

3. Zuschlagsentscheid

3.1 Zuschlagskriterien

Gemäss Ausschreibung

3.2 Berücksichtigte Anbieter

Name: KLA Corporation, 1 Technology Drive, California,  74540  Mures,  Frankreich
Preis (Gesamtpreis):  Ohne Angabe gemäss Art. 51 Abs. 4 Lit. b BöB und lVöB 2019

3.3 Begründung des Zuschlagsentscheides

Begründung: Das gewählte Material entspricht zum jetzigen und voraussehbaren Zeitpunkt am ehesten unseren finanziellenMitteln und Bedürfnissen (Sicherung der Investitionen) unter Berücksichtigung der schnellen Entwicklung der Anforderungen inder Forschung.

4. Andere Informationen

4.1 Ausschreibung

Publikation vom: 16.09.2022
im Publikationsorgan: www.simap.ch
Meldungsnummer 1286729

4.2 Datum des Zuschlags

Datum: 02.12.2022

4.3 Anzahl eingegangene Angebote

Anzahl Angebote: 2

4.5 Rechtsmittelbelehrung

Gegen diese Verfügung kann gemäss Art. 56 Abs. 1 des Bundesgesetzes über das öffentliche Beschaffungswesen (BöB) innert 20 Tagen seit Eröffnung schriftlich Beschwerde beim Bundesverwaltungsgericht, Postfach, 9023 St. Gallen, erhoben werden. Die Beschwerde ist im Doppel einzureichen und hat die Begehren, deren Begründung mit Angabe der Beweismittel sowie die Unterschrift der beschwerdeführenden Person oder ihrer Vertretung zu enthalten. Eine Kopie der vorliegenden Verfügung und vorhandene Beweismittel sind beizulegen.
Die Bestimmungen des Verwaltungsverfahrensgesetzes (VwVG) über den Fristenstillstand finden gemäss Art. 56 Abs. 2 BöB keine Anwendung.